ドライプロセス表面処理大全 (技術大全シリーズ)フルブック

ドライプロセス表面処理大全 (技術大全シリーズ) (日本語) 単行本 – 2019/3/27

工学, 金属・鉱学 (本), 化学工学, 関東学院大学 材料・表面工学研究所

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ドライプロセス表面処理大全 (技術大全シリーズ) (日本語) 単行本 – 2019/3/27 - ドライプロセスは真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であり、エレクトロニクスや機械分野だけでなく、医療や食品分野まで広く活用が期待されている。本書では、真空技術や基板前処理などの基礎からPVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し応用例を紹介する。

de 関東学院大学 材料・表面工学研究所

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